二氧化碳發泡機是一種具備超純水防靜電功能的裝置，它能夠顯著增強超純水的導電性能，降低電阻率，有效防止在切割過程中靜電積聚，消除硅屑、陶瓷屑因靜電而產生的吸附現象。
它能切實有效地控制生產制程中的靜電帶來的危害，避免因靜電吸附導致產品因靜電放電而受損，減少靜電破壞和微粒子的附著，從而提高產品良品率，降低生產成本。
CO2發泡機
UPWAS-20
UPWAS-40A
